“첨단 미세공정 적용한 D램 양산”… SK하이닉스 ‘M16’ 공장 준공

첫 삽 26개월 만에 공사 마무리
3조5000억·연인원 334만명 투입
면적 5만7000㎡… 축구장 8개 크기
SK 최초로 극자외선 장비 도입
미세회로 구현 때 유리… 성능도 ↑
하반기부터 4세대 제품 본격 생산
최회장 “2020년 연봉 전부 반납” 밝혀
사내 “성과급 적다” 불만 논란 진화

아파트 37층 높이 공장 전경 SK하이닉스가 1일 경기 이천 본사에서 ‘M16’ 준공식을 개최했다. 사진은 SK하이닉스 경기 이천 M16 공장 전경. SK하이닉스 제공

SK하이닉스가 올 하반기부터 최첨단 극자외선(EUV) 노광 장비를 활용한 차세대 D램 반도체 양산에 돌입한다.

SK하이닉스는 1일 경기도 이천 본사에서 ‘M16’ 공장 준공식을 열었다. M16 공장은 SK하이닉스 최초로 EUV 노광 장비가 도입된 곳이다. EUV 공정은 반도체 포토 공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 것이다. 기존 불화아르곤(ArF)의 광원보다 파장의 길이가 짧아(10분의 1 미만) 반도체에 미세회로 패턴을 구현할 때 유리하고 성능과 생산성도 높일 수 있다.

M16 공장은 2018년 11월 착공 이후 총 3조5000억원, 연인원 334만명이 투입돼 이날 완공됐다. SK하이닉스가 국내외에 보유한 생산시설 중 최대 규모다. 건축면적이 5만7000㎡로 축구장 8개 크기이며 길이 336m, 폭 163m, 높이는 아파트 37층에 달하는 105m 규모다.

SK하이닉스는 최첨단 인프라를 기반으로 이 공장을 차세대 성장동력으로 키워낼 계획이다. EUV 장비를 활용해 올해 하반기부터 4세대 10나노급(1a) D램 제품을 생산한다. 최첨단 장비 투입으로 메모리반도체 미세공정 기술 리더십도 한층 강화될 것으로 기대된다.

M16 준공은 SK하이닉스가 2015년 이천 M14 준공식에서 밝힌 ‘미래비전’의 조기 달성이라는 의미도 지닌다. 당시 SK하이닉스는 지속적인 반도체 산업 리더십 확보를 위해 2014년부터 10년 내 M14를 포함해 국내에 3개의 신규 팹을 구축하겠다는 계획을 발표한 바 있다. 이후 2018년 청주 M15에 이어 이번에 M16을 준공해 미래비전을 3년 앞당겨 완성했다.

준공식에서 최태원 SK그룹 회장은 “반도체 경기가 하락세를 그리던 2년 전 우리가 M16을 짓는다고 했을 때 우려의 목소리가 컸지만 어려운 시기에 내린 과감한 결단이 더 큰 미래를 꿈꿀 수 있게 해줬다”면서 “M16은 그동안 회사가 그려온 큰 계획의 완성이자 앞으로 용인 클러스터로 이어지는 출발점으로서 중요한 상징으로 남을 것”이라고 강조했다.

한편 최 회장은 최근 SK하이닉스 사내에서 지난해 회사 성과급에 대한 불만이 나오는 것과 관련해서 “초과이익배분금(PS) 문제를 잘 알고 있고 나름대로 고심을 해봤다”며 “지난해 제가 SK하이닉스에서 받은 연봉을 전부 반납해 임직원들과 나누겠다”고 밝혔다. 최 회장은 2019년 기준 SK하이닉스로부터 연봉 30억원을 수령했다.

앞서 SK하이닉스는 지난달 28일 연봉 20% 수준의 PS 명목 성과급을 지급한다고 공지했으나, 직원들 사이에서는 회사 실적 대비 액수가 너무 적다는 불만이 쏟아졌다.

남혜정 기자 [e-mail]