광학전문기업 큐빅셀은 산업통상자원부의 첨단 전략산업 초격차 기술개발(반도체)을 위한 국가과제 주관기관으로 선정돼 협약을 완료했다고 20일 밝혔다.

FSH 기술을 적용한 샘플 테스트 및 설루션 개발용 데모기기. 큐빅셀 제공

큐빅셀을 주관기관으로 하는 컨소시엄은 1um 이하 분해능으로 실시간 계측이 가능한 자동광학검사장비를 개발하는데 2026년까지 총 약 38억원을 지원받게 된다.

최근 인공지능(AI) 언어모델 챗GPT 등장으로 AI 서버 수요가 크게 늘어나고 있고, 챗GPT와 같은 AI 언어모델의 연산능력을 감당하기 위해서 AI 프로세서, HBM, 칩셋용 IC 등 이종소자를 웨이퍼 레벨에서 패키지 공정을 진행하는 첨단 패키징(Advanced Packaging)이 필수적이다. 이종소자들뿐만 아니라 HBM같은 DRAM이 8단 이상 적층된 소자를 패키징 하는 것은 기술적 난도가 높기 때문에 이를 실시간으로 정확히 계측하는 것이 중요하다.

이에 따라 산업통상자원부는 첨단 전략산업 초격차 기술개발에 1um 이하 분해능으로 실시간 계측이 가능한 3차원 홀로그래피 자동광학검사기술 확보가 필요하다고 판단, 이번 과제를 통해 기술 개발을 지원하게 됐다.

큐빅셀은 그간 깊은 심도 영역에서도 높은 분해능으로 3D 이미지를 한 번에 얻을 수 있는 FSH(Flying-over Scanning Holography) 기술로 첨단 패키징을 3차원으로 검사할 수 있는 설루션을 개발해 왔고, 글로벌 Tier-1 종합반도체회사로부터 긍정적인 반응을 얻은 바 있다. 향후 일본의 치바대학교, 한양대학교 및 한국전자기술연구원(KETI)와 함께 과제를 수행하며 자동광학검사장비뿐만 아니라 AI 기반의 홀로그램 신호처리 소프트웨어 기술까지 확보하고자 한다.

큐빅셀 관계자는 “이번 과제에 선정됨으로써 홀로그램을 기반으로 한 FSH 기술이 반도체 계측 및 검사에 다양하게 활용될 수 있음을 확인한데 의의가 있다”며 “향후 첨단 패키징의 기술적 난제를 해결하는데 기여할 것으로 예상된다”고 말했다.

김수연 기자 [e-mail]