반도체 웨이퍼 가공설비인 경기도 화성시 삼성전자 반도체 15라인 전경. 세계일보 자료사진

삼성전자가 반도체 공정에 사용해 온 일본의 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 최근 국산품 등으로 대체한 것으로  확인됐다.

삼성전자 관계자는 3일 “일부 공정에 일본산 이외의 제품을 투입했다”며  “민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해 나갈 계획”이라고 밝혔다.

업계에 따르면 생산에 투입된 불화수소에는 국내 업체가 생산한 제품도 포함된 것으로 알려졌다. 이는 일본이 지난 7월 초 한국에 대해 불화수소를 포함한 3개 품목의 수출을 규제한 이후 약 두 달 만이다.

삼성전자는 수출규제 직후부터 일본 불화수소를 대체할 수 있도록 국내외 제품의 테스트를 진행해왔으며, 업계는 제품을 양산에 투입하기까지 3∼6개월가량의 시간이 소요될 것으로 전망했다.

불화수소는 반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재다. 국내외 불화수소를 테스트 중인 SK하이닉스는 아직 대체품을 양산에 투입하지는 않은 것으로 알려졌다.

LG디스플레이는 이미 국산 불화수소를 공정에 투입했으며, 삼성디스플레이도 조만간 테스트를 완료할 것으로 예상된다. 

일본 경제산업성은 지난 7월 반도체 소재 3개 품목의 수출을 규제하기 시작한 이후 세 차례만 수출 허가를 내줬다. 지난달 7일과 19일 각각 극자외선(EUV)용 포토레지스트를, 같은 달 29일에는 불화수소 수출을 허가했다. 모두 국내 협력사를 통해 삼성전자가 납품받는 물량이었다. SK하이닉스 등 다른 회사는 아직 한 차례도 수출 허가를 받지 못한 것으로 알려졌다.

이우중 기자 [e-mail]