불소 등 누출 5초 만에 감지하는 센서 개발

포스텍 김기현·백창기 교수팀

누출된 유독물질인 불소·불화수소산 등을 5초 만에 감지할 수 있는 원천센서기술이 개발됐다.

포스텍은 김기현·백창기 교수팀이 산업현장에서 극미량의 불소와 불산 등 유독물질을 감지할 수 있는 열증착 기법을 활용한 원천센서기술을 개발했다고 17일 밝혔다. 이 연구는 센서분야 저명 학술지인 ‘센서와 작동기 B: 화학’ 온라인판에 게재됐다.

좌측은 김기현 교수, 우측은 백창기 교수

그동안 무색무취여서 조기 감지가 쉽지 않은 불소와 불산을 감지하기 위해 다결정 감지막과 산화물 반도체 소자를 활용했지만 원천기술 부족으로 핵심센서의 대부분을 수입하고 있고 제조공정이 복잡하고 생산비용이 비싸 가장 필요한 산업현장에서는 활용하기가 어려웠다.

연구팀은 실리콘 재료를 활용하고 반도체 공정기술을 이용해 불소·불산 센서를 제작했다.

포항=장영태 기자 [e-mail]