포스텍은 김기현·백창기 교수팀이 산업현장에서 극미량의 불소와 불산 등 유독물질을 감지할 수 있는 열증착 기법을 활용한 원천센서기술을 개발했다고 17일 밝혔다. 이 연구는 센서분야 저명 학술지인 ‘센서와 작동기 B: 화학’ 온라인판에 게재됐다.
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| 좌측은 김기현 교수, 우측은 백창기 교수 |
연구팀은 실리콘 재료를 활용하고 반도체 공정기술을 이용해 불소·불산 센서를 제작했다.
포항=장영태 기자 3678jyt@segye.com
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